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YAMATO等离子灰化机

简要描述:YAMATO等离子灰化机,PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制(PR500/510)
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-03-02
  • 访  问  量:58

产品介绍

YAMATO等离子灰化机,PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制(PR500/510)

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型紧凑型的等离子处理设备。

用途:

  • 去除光刻胶
  • 部品清洗
  • 界面活性处理
  • 微研磨
  • 硅晶圆,玻璃基板对应

特征:

  • 大口径(Φ215mm)石英反应腔
  • 小型一体化设计

操作简单的触摸屏方式(PR510型)

技术参数:

型号

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高频输出功率

Max500W

频率

13.56MHz

同调方式

自动协调

反应部

反应腔

石英 Φ215×305mm

反应气体

2系统(O2/CF4)

控制

手动

触摸屏自动控制

配管材质

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W438×D520×H760mm

参照规格书

重量

约60kg

参照规格书

电源

单相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

PR200/300/301,从样品表面改质到清洗的小型台式等离子清洗机。

 用途:

  • YAMATO等离子灰化机高分子材料表面的官能基付与→粘合性、密着性提高。通过氧化反应,在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影响)。同样在氮气等离子体中,氮原子被吸收在表面中,生成-NH 2等官能基。
  • 硅晶圆蚀刻。
  • 材料表面改性(金属、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
  • 石棉预处理(膜过滤灰化)。
  • 从电子设备到生化市场。
  • 低温灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
  • 使用玻璃和PDMS板粘贴PDMS芯片。
  • 表面有机物去除。

特点:

  • RF为200 W的高性能输出类型(PR200)。
  • 由于是尺寸紧凑的台式机,很小的位置都可以安装。
  • 同步,自动调谐,操作简单(PR200)。
  • 等离子体反应器(灰化设备)(PR200)。
  • 同步、自动调谐(PR200)。

技术参数:

型号

PR200

PR300

PR301

模式

DP模式,桶型

控制部

高频输出

Max300W

频率

13.56MHz

同调方式

手动2轴同调方式

反应部

反应腔

耐热玻璃 Φ100×160mm

超硬质玻璃 Φ64×160mm×3室

耐热玻璃 Φ118×160mm

反应气体

1系统(氧气)流量计

控制

手动密闭阀

自动减压、自动密闭阀

配管材质

不锈钢、特氟龙、铜、铜合金

不锈钢、特氟龙

外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm

重量

约10kg

约36kg

约34kg

电源

AC100V 15A

AC100V 7A

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