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YAMATO等离子装置

简要描述:YAMATO等离子装置,13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载 RIE·DP 双模式。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单"的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。特征:可变更电极构造提高等离子效果。搭载高精度适配器,高性能RF 电源。可根据需求规格提供定制。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2021-03-02
  • 访  问  量:113

产品介绍

YAMATO等离子装置,13.56MHz 高频输出的等离子清洗机,搭载 RIE·DP 双模式。

使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。

特征:

  • 可变更电极构造提高等离子效果。
  • 搭载高精度适配器,高性能RF 电源。
  • 可根据需求规格提供定制。

用途:

  • 硅晶圆的灰化及蚀刻
  • 基板表面污垢处理
  • IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
  • 半导体相关部品的电子材料的干式清洗
  • 自然氧化膜·有机物去除
  • 界面活性处理
  • 表面污染物去除

技术参数:

型号

V1000

V1000X

V1000XS

等离子模式

DP/RIE

高频电源

13.56MHz

输出功率

Max1000W

Max1000 & 1500W

有效电极尺寸

W280×D280mm

W300×D300mm

W400×D375mm

电极

平行平板

2段电极(独立)

平板(多目的)

反应气体

聚合控制器2系统(填充气路另行安装)

真空泵(标配)

约1000L/min

约1500L/min

1000 & 1500L/min

安全装置

门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等

 ---

PDC600小型、多段式等离子清洗机。

用途:

  • 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
  • 灰化、蚀刻处理
  • 塑料封装前处理
  • 印刷基板镀层前处理
  • LED关联部品处理
  • 电子部品清洗
  • 光刻胶剥离或表面残留物去除
  • 光学、金属、机械部品等精密部件的清洗
  • 包含氟化树脂的树脂类产品表面改质
  • FCC对应

特征:

  • YAMATO等离子装置,600W的小型高输出功率
  • 电极可选择1·2·3段(采购时选)
  • 可处理纵型的试料收纳盒
  • 可选择RIE/DP模式(采购时选)
  • 数据记录器(选配)
  • 适配点记忆功能(选配)

技术参数:

型号

PDC610

等离子模式

RIE/DP(固定模式)

电极构造

3段独立平行平板(固定)

高频输出

Max600W

频率

13.56MHz

控制·显示方式

PLC·触摸屏

反应腔尺寸

W350×D270×H300mm

反应腔材质

A5052

反应气体

2系统(Ar、O2)

填充气体

N2或干燥空气

真空泵

油泵(约345L/分)·标配

外形尺寸

W600×D722×H700mm

外装材质

不锈钢

电源

3 相 AC200 50/60Hz 15A

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